当塑料元件放置在放电通道中时，氧气 氩气等离子清洗机放电过程中产生的电子与表面碰撞的能量大约高出两到三倍，破坏了大多数基板表面的分子键。这会产生活性自由基。这些自由基存在于氧气中，可以迅速反应在基材表面形成各种官能团。这种氧化反应产生的官能团可以有效提高表面能，加强与树脂基体的化学键。这些包括羰基 (-C = O-)、羧基 (HOOC-) 过氧化氢 (HOO-) 和羟基 (HO-) 基团。
长期研究表明，氧气 氩气等离子清洗机当一种化学物质吸收能量（热能、光子能、电离）时，其化学成分会变得更加活跃，甚至会破裂。如果吸收的能量大于化学结合能，则化学键可能会断裂。带有能量的自由原子或基团，一方面分解空气中的氧气，然后结合形成臭氧，另一方面，污染物的化学键断裂，形成自由原子或基团；在反应过程中，废气最终被分解氧化成简单而稳定的化合物，如 CO2、H2O 和 N2。
在2000 KJ/MOL的能量密度下，氧气 氩气等离子清洗机CH4转化率和C2烃产率分别可以达到52.7%和40.9%。能量密度与 CH4 转化率和 C2 烃产率之间的关系几乎是对数的。当能量密度小于 0 KJ/MOL时，CH4转化率和C2烃产率随着能量密度的增加而迅速增加。当能量密度超过 0 KJ/MOL时，CH4转化率和C2烃产率随着增加而迅速增加。能量密度慢。
CH4 + E * & MDASH;> CH3 + H + E (3-1) CH3 + E * & MDASH;> CH2 + H + E (3-2) CH2 + E * & MDASH;> CH + H + E (3-3) CH ...
